フッ素ガス測定装置 FU-100

1.概要

フッ素ガス(F2)は等核2原子分子のため赤外不活性です。そのためフッ素ガスの同定・定量分析には紫外領域(280nm付近)の吸収を用います。また、フッ素ガスは腐食性があり、危険性が高いので測定には特殊な気体セルが必要です。

2.特徴

フッ素ガスの気体セル本体はニッケル製、窓板はCaF2(フッ化カルシウム)です。インラインで測定を可能とするため光はファイバーにより導入・取りだしができます。気体セルからの光は小型分光器に導入し、スペクトルを測定することができます。クリーニングのためのヒーターが取り付けてあり、常に清浄な状態で測定が可能です。

フッ素ガス測定装置 FU-100

3.装置概略仕様

コントローラ本体
コントローラ本体寸法 422mm(W)x147mm(H)x264mm(D)
重さ 9kg
必要電源 ヒータコントロール用 AC100V 15A
D2光源電源用 AC100V 30W
光ファイバー SMAコネクタ NA0.22コア径600um 2m 石英
フッ素ガスセル
光路長 200mm
内径 16mmφ
容積 40.192cc
重さ 3kg
外径 20φセルボディ、1/4インチチューブ
1/4インチチューブ ニッケル201を使用 グランドはSUS316L
フッ素ガスセルユニット1
フッ素ガスセルユニット2
※セルからヒーター用のプラグとK型熱電対センサのコネクタ(黄色)が出ています。これはコントローラの右パネルに接続します。
窓板 窓板 UVグレード CaF2 外径25φ 厚み3mm
セル長 200mm
セル太さ 内径16mmφ セル内積40.192cc
ヒーター マントルヒータジャケット 室温~80℃
Oリング カルレッツP-18
継手 INLET,OUTLET用VCRメス型継手 チュウブ外径1/4インチ
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