多光子光造形装置MPF-330

概要

本装置はフェムト秒レーザーを用いた多光子励起光造形装置です。750~900nmの超短パルスレーザー光を励起光源として用いることにより、紫外~可視領域に吸収を持つ物質の2光子励起が可能です。従来の高出力レーザーによる光造形より高空間分解能でナノスケールの光造形ができます。

特長

従来の高出力炭酸ガスレーザーやYAGレーザーを用いた加工は光エネルギーを熱エネルギーとして変換し、照射部位を溶融、分解など熱的に損傷して加工する手法ですが、フェムト秒レーザーによる加工は光エネルギーそのものを用いるため材料が熱的な損傷を受けません。
また、多光子励起による加工のため材料表面を損傷することなく、内部のみを3次元的に加工することができます。
さらに多光子励起過程は非線形光学現象であるため、回折限界を超える加工分解能が得られます。

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